- обработка планарных структур
- planar processing
Русско-английский словарь по микроэлектронике. 2013.
обработка планарных структур
Look at other dictionaries:
ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ — (от англ. planar плоский), совокупность способов изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем путем формирования их структур только с одной стороны пластины (подложки), вырезанной из монокристалла. П. т. основа микроэлектроники,… … Химическая энциклопедия
